News 2■　　川崎重工業（株）は薄膜太陽電池の製造に用いるレーザパターニング装置を開発した。 　薄膜太陽電池はガラス基板の表面に透明電極膜、半導体膜、金属膜などが積層されており、それぞれの膜を積層する過程において回路を形成するためのスクライブ（溝切り）加工を行うパターニング装置が使われている。現状のパターニング装置のスクライブ速度は2,000mm/sec程度で太陽電池の低コスト化のため、さらなる高速化とスクライブ線の高品質化が求められていた。 　今回、開発した装置は特殊なレーザ照射装置と搬送部で構成されており、ガラス基板がレーザ照射装置上を通過すると同時に超高速のスクライブ加工を行えるため、従来のガラス基板を停止させ、往復動作をさせながらレーザを照射するスクライブ加工方式などと比べて生産性の向上や高品質なスクライブ加工を可能とした。