レーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID⁺

レーザーテック株式会社

会社情報

レーザーテック株式会社 共焦点システムソリューション部

〒222-8552

神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1

TEL:045-478-7330

FAX:045-478-7333

HP:https://www.lasertec.co.jp/products/microscope/hybrid/OPTELICS_plus.html

E-Mail:lteast@lasertec.co.jp

真の使いやすさの追求。「計測アシスト機能」、「AI検査」をはじめとする新規ソフトウェアを搭載

レーザーコンフォーカルと白色コンフォーカルの二つの光学系を融合し、高機能、多機能を追求したレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」が、ハードウェアの改良および新規ソフトウェアの搭載により「HYBURID⁺」として新しく誕生しました。

<特徴>
より速く・より広く・より正確に

●白色コンフォーカル:焦点深度の深い高精細カラーコンフォーカル画像
●レーザーコンフォーカル:波長405nmのレーザー光による高倍率・高分解能画像
●微分干渉観察機能 :ナノレベルオーダーの微細な凹凸をリアルタイムに可視化
●波長選択機能 :6波長からサンプルに最適な波長を選択し、観察・測定
●白色干渉測定 :広範囲の数十ナノメートルレベルの高低差を測定
●反射分光膜厚測定 :6波長それぞれの反射率からナノレベルの膜厚を測定
●広視野観察 :一般的なレーザー顕微鏡に比べ、約1.6倍の広視野観察を実現
●走査速度 :業界最速の15Hzを実現
●計測アシスト機能 :LMカルテ、フィルターアシスト

<用途>
各種材料の観察および形状測定
半導体材料&デバイス、透明膜、樹脂、MEMS、コーティング材料、フィルム、無機・有機材料、バイオ系試料、金属加工部品、プラスチック加工部品など

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