枚様式高精度薄膜形成用スリットコータ
株式会社SAT会社情報
株式会社SAT
〒300-0813
茨城県土浦市富士崎1-14-19 NAC土浦ビル1F
TEL:029-826-0350
FAX:029-828-4555
E-Mail:info@sunat.jp
塗布ヘッド内圧力連動基板移動制御方式
◆極薄膜安定形成
・・・業界トップクラスのラウンド1μm成膜
◆高精度平滑化実現
・・・成膜範囲全域に渡る低膜厚ばらつき化
◆高信頼性プロセス管理
・・・重要因子リアルタイムモニタリング機能
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