New IRコンフォーカルマイクロスコープ OPTELICS IR シリコンウェハなどIR透過材料を用いたデバイス内部を、波長1,000〜1,500 nmで鮮明に観察。アドバンスドパッケージで課題となるアライメントズレ、ボイド、接着剥がれなどの検査に高精度で対応します。IR光による高コントラスト観察と高さ測[…]
レーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID⁺ 2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察・白色干渉測定・位相シフト干渉測定・反射分光膜厚測定など6つの機能を搭載し、複数の装置を揃えないと実現できなかった観察・測定が1 台で可能になりました。 また、観察・測定だけでなく、自動欠[…]
